光学外差微振动测量装置

光学外差微振动测量装置

概述/规格

一种利用激光多普勒效应
测量微小振动的频率和振幅的装置。

响应频率	1~200MHz
最大测定速度	5m／秒
测量光斑 直径	约φ10μm

特长／用途

高刚性外壳即使在桌面上也能精确测量 200MHz 振动

能够测量垂直（面外）振动和横向（面内）振动

易于操作的显微镜光学系统和直观的信号输出

可通过软件进行振动分析、动画等（可选）

MEMS器件、晶体谐振器、SAW器件等的振动分析