半导体工厂用

 这种照明非常适合使用光致抗蚀剂的工艺,例如半导体工厂的洁净室。这是一种可截断包括紫外线在内的 500 nm 以下短波长的 LED 灯。

  • New Yellow (NY),波长低于 500nm:用于替代传统黄色荧光灯管
  • 新白(NW)、纯白(PW),用于i线曝光工艺 也可用于部分g线曝光工艺
    它还具有节能以外的效果,例如提高色彩可见度。
半导体工厂用