什么是曝光装置？

曝光设备用于制造半导体和液晶显示器，通过向基板上照射光线来描绘电路和像素等图案。

由于使用极强的光线，并且需要在舞台上进行精确控制，因此产品通常很大，价格高达数亿日元。曝光工序是半导体和液晶显示器制造中非常重要的设备，因为它是决定设计数据（ CAD数据）图案的工序。各公司开发了各种曝光方法并将其应用于自己的设备中。

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