灰化装置原理

 等离子体是一种电离气体，反应性极强。当氧气被制成等离子体时，它会与碳和氢发生极好的反应，因此，如果将碳氢化合物聚合物（例如塑料）放入氧气等离子体中，它会瞬间消失。

纯碳氢化合物仅由碳和氢组成，因此与氧气反应后会释放出水和二氧化碳，不会留下任何残留物。半导体制造中使用的光刻胶由碳氢聚合物制成，但其中含有添加剂、溶剂、光敏剂等，因此在灰化这些光刻胶时，需要根据光刻胶的特性选择最佳的等离子体条件。

在臭氧灰化过程中，氧分子并非通过等离子体激活，而是从氧分子中产生高活性的臭氧，并将其引入反应室。此时，通过紫外线照射，臭氧会生成活性更高的氧原子（氧自由基），这些氧原子随后会与光刻胶发生反应。

氧等离子体与氧自由基的区别在于：氧等离子体中一定比例的氧原子是正离子，而氧自由基是电中性的，因此氧等离子体的反应性更强。