电子束光刻原理

 设计部门创建的图案也称为CAD数据或流数据，是独立于绘图设备的格式数据。将这些数据转换为各个绘图设备所需的格式以便处理的过程称为EB转换，经过EB转换的图案数据称为EB数据。

在电子束光刻系统中，毛坯被放置在一个精密的XY平台上，随着平台的移动，电子束根据电子束数据照射到图案的位置。电子束从电子枪发射，穿过光圈时会形成精确的形状。毛坯上的电子束光刻胶分子在电子束照射到的地方被切割或聚合。

图案化完成后，经过显影、蚀刻、去除剩余光刻胶膜等光刻工艺，成为光掩模。