什么是离子注入机

 离子注入机是一种将离子化材料注入另一种材料以改变注入材料性质的设备。

广泛应用于半导体的单晶硅晶片等材料在自然状态下是绝缘材料，但通过向其中注入不同物质的离子，可以改变其电学特性。

离子注入设备主要用于半导体器件制造过程中的杂质注入工艺，但也用于半导体以外的材料领域，以改变材料的特性。本文将介绍半导体制造工艺中使用的离子注入设备。