离子注入设备原理

 离子注入装置由离子源、分析部、狭缝、加速管、偏光板、透镜、扫描仪、硅片台、高温注入夹具等组成。将磷、硼、砷等产生离子的元素添加到处于真空状态的离子源部，利用电磁场将这些元素变成等离子状态的气体。

分析器和狭缝的作用是，将等离子气体中用于离子注入的物质的离子导入加速管。离子在加速管内加速，并通过管末端的偏光板和Q透镜整形为离子束。

扫描仪的作用是将离子束在X、Y方向上进行扫描，将需要注入离子的晶圆精确地放置在硅片台上，离子束扫描晶圆表面，实现离子注入。

晶圆背面有一个高温注入夹具。高温注入夹具的作用是加热晶圆。加热晶圆可以抑制离子注入引起的晶体缺陷的产生，并通过自退火效应消除缺陷。