DDB-701-MS-10 DMD型曝光装置“PALET”
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- DDB-701-MS-10 DMD型曝光装置“PALET”
- NEOARK
- DDB-701-MS-10
- 日本
- 现货
产品详细介绍
デスクトップサイズの露光装置
A3サイズの設置面積
防振台不要
必要ユーティリティはAC100Vのみ
“デスクトップリソグラフィ”をキーワードに、装置サイズを徹底的に小型化し、A3サイズの設置面積を実現しました(※1)。また独自のフローティング構造を採用することで振動を抑制し、防振台不要・真空吸着用エア源内蔵を実現。導入に際して障害となりやすい圧縮エア等のユーティリティを取り除きました。お客様にご用意いただくのは机と100V電源のみ(※2)です。
機能絞り込みと低価格設定
研究室レベルで導入できる低価格設定
露光領域 ：25mm×25mm
最小露光線幅：3μm
「マスクレス露光装置は便利だが数千万円するものだから、導入は諦めよう」
そんな常識を打ち破るべく機能を大胆に絞り込み、各研究室レベルで導入できる低価格を実現しました。もちろんマスクレス露光装置が持つ自由度はそのまま活用できますので数10～数100μmの微細パターンを求める研究・開発に最適です。
ラインナップ
| 型名 | DDB-701-MS-10 | DDB-701-MS-2 | DDB-701-DL-10 | DDB-701-DL-2 |
|---|---|---|---|---|
| 光源 | 365nm(typ.) LED | |||
| 対物レンズ | 10倍 | 2倍 | 10倍 | 2倍 |
| 最小露光線幅 | 3μm | 15μm | 3μm | 15μm |
| ワークサイズ | 最大□60mm、厚み3mm以下 | |||
| ワンショットあたりの 露光エリア |
約1mm x 0.6mm | 約5mm x 3mm | 約1mm x 0.6mm | 約5mm x 3mm |
| ワンショットあたりの 露光時間 |
約1秒 | 約15秒 | 約1秒 | 約15秒 |
| 露光領域 | 25mm x 25mm | |||
| ステージ | 手動XYZθステージ | 電動XYZθステージ | ||
| 構成 | 装置本体・ノートPC・ソフトウェア・ステージドライバ(オートステージモデルのみ) | |||
| ユーティリティ | AC100V、消費電力、1.5kW以下 | |||
| 対応ファイルフォーマット | 画像データ(JPEG / PNG / BITMAP)、パワーポイントデータ、CADデータ(DXF) | |||
| 本体外寸、重量 | 300mm(W) x 450mm(D) x 450mm(H)、約30kg | |||
オプション
周辺オプションを個別に設計することも可能です。ご希望があればお問合せください。