XY-01超高精度XY台

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  • XY-01超高精度XY台
  • NEOARK
  • XY-01
  • 现货
产品详细介绍

 

超高精度XYステージ

 

■製品特長
・超音波モータと光学式リニアスケールとの組み合わせた、分解能10nmの高精度ステージ
・動き出しの不感帯が微小な為、真円に近いステージ動作が可能
・ご要望に応じたカスタマイズオーダーに対応可能

■主なアプリケーション
・顕微鏡との組み合わせによる電動ステージ
・加工装置への導入
・計測機器のサンプルステージ


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