温馨提示:
■製品特長 ・超音波モータと光学式リニアスケールとの組み合わせた、分解能10nmの高精度ステージ ・動き出しの不感帯が微小な為、真円に近いステージ動作が可能 ・ご要望に応じたカスタマイズオーダーに対応可能
■主なアプリケーション ・顕微鏡との組み合わせによる電動ステージ ・加工装置への導入 ・計測機器のサンプルステージ